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19.41%!微导公司RIE设备金刚线多晶黑硅试制一次成功(附图)

2017-03-21 11:09:18     中国机械工业联合会机经网    参与互动


关键词  江苏微导    RIE设备    无锡先导   

隶属于无锡先导集团的江苏微导纳米装备科技有限公司是一家年轻的科技公司,致力于为国内外的高科技行业提供最新最可靠、使用成本最低的生产设备和解决方案。其中,专门为解决金刚线多晶制绒难问题所开发的反应离子刻蚀(RIE)技术,经过一年多的开发和优化,于今年3月份在客户现场一次成功,实现第一片实验片反射率做到10%以下,首次金刚线多晶2800片实验平均效率做到19%以上,最高19.41%的好成绩,此时距离二次配完成具备工艺调试条件仅4天时间。相信在后续深入优化以后,还会有进一步的提升。

在光伏领域,一项新技术的应用无非看两点:效率提升和成本下降。从成本角度来看,大规模应用金刚线切割是晶体硅光伏的大势所趋,金刚线切多晶切割效率可提升20%-40%,切割成本可降低20%。此外,还具有表面损伤少、洁净度高、几何参数优、机械不良率低等特点,切割过程也更加环保,品质控制更加优秀。

但是相比单晶硅片而言,金刚线切割的多晶硅片在电池端的制绒环节遇到了困难。在此背景下,黑硅技术又应运而生。针对金刚线切多晶硅片表面损伤层浅、反射率高等问题,黑硅技术可以解决硅片的绒面难题,并大幅提升电池端转化效率。业内预测,国内主流电池片厂商对黑硅技术的研发已经成熟,2017年将开始量产,并且随着金刚线切片+黑硅技术在多晶领域的推广,组件价格会出现显著下降。

隶属于无锡先导集团的江苏微导纳米装备科技有限公司是一家年轻的科技公司,致力于为国内外的高科技行业提供最新最可靠、使用成本最低的生产设备和解决方案。其中,专门为解决金刚线多晶制绒难问题所开发的反应离子刻蚀(RIE)技术,经过一年多的开发和优化,于今年3月份在客户现场一次成功,实现第一片实验片反射率做到10%以下,首次金刚线多晶2800片实验平均效率做到19%以上,最高19.41%的好成绩,此时距离二次配完成具备工艺调试条件仅4天时间。相信在后续深入优化以后,还会有进一步的提升。

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能够在从来没有调过工艺的微导第一台RIE设备上实现快速做黑并且首次试制效率较金刚线传统酸制绒提升0.7%以上(较普通砂浆片提升0.5%以上),离不开合作客户的大力支持,也离不开微导强大的技术团队。我们从芬兰、新加坡引进博士团队,加上浙江大学、中科大等国内名校毕业的博士、硕士,其中数人更是获得了江苏省双创人才项目的技术专家,是真正具有高新技术产业化经验的团队。

这次开发的用于太阳能电池表面干法制绒的设备经过数轮的技术攻关,成功突破产能极限,实现较传统RIE设备产能提高25%以上。此外,我们的铝合金腔体可确保长期使用不会生锈,更合理的内部设计大大降低了维护成本。再加上我们深度集成的自动化上下料系统确保了设备整体具有更高的稳定性、更低的碎片率以及更低的生产成本。有了这样一台具备Coo优势和效率优势的RIE设备,相信会让金刚线多晶技术如虎添翼,为客户带来更大的价值。

在不断增加的高效率、低成本晶硅太阳能电池市场需求驱动下,微导为单、多晶高效太阳能电池技术提供高性能ALD钝化和RIE干法制绒生产解决方案。微导RIE黑硅与ALD背钝化技术的结合,为晶硅太阳能电池效率突破、降低成本提供最佳量产方案。

 


来源:光伏设备            责任编辑:机经网编辑部 tongdx
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